一种含硫烷基单头季鏻盐的光刻胶脱胶剂组合物及其制备方法和应用

本发明公开了一种含双子手鳞盐的光刺胶脱胶剂组合物及其刺备方法和应用，该組合物以重量份数计，包括双子手辚盐1-5份、有 机溶剂65-75份、有机聘胺10-15份、绣速剂1.5-5份、消泡剂0.1-0.5份和润温剂1-2份，本发明脱胶剂去胶速实快、去胶能力强 在较低温磨都始保持去胶性始。而目对金属、硅、氧化桂等各种度材的南蚀性较低，水性好，容易清洗，在半导体昆国清洗等 领域具有良好的应用前暴。