产品详情
复合研磨液GL‑001
无机硬脆材料精密研磨液 · 产品简介
产品特性
| 特性描述 |
|---|
| 复合研磨液GL‑001是一款低粘度研磨液，用于单晶硅、多晶硅、微晶玻璃等新型无机硬脆材料的精加工。它由独特的纳米级复合材料构成，在化学机械抛光（CMP）之前的紧邻工序中，既能实现优异的表面光洁度，又能保持良好的材料去除速率。此外，该研磨液可与水混溶，便于清洗。与抛光垫配合使用时，可实现最高性能。 |
| 优异的表面光洁度 |
| 良好的总厚度偏差（TTV） |
| 易于用水清洗 |
| 与各种抛光垫兼容 |
| 适用于多种无机硬脆材料的精密研磨 |
基础指标
| 项目 | 指标 |
|---|---|
| 外观 | 无色或淡黄色液体，可与水混溶 |
| 密度（g/cm³，25℃） | 0.950 ~ 1.100 |
| pH值（1/20 aq.） | 8.0 ~ 10.0 |
推荐用量及操作说明
| 使用操作说明 |
|---|
| 使用前将研磨液充分搅拌，确保容器底部无沉淀残留；使用过程中持续搅拌，以均匀的流量将搅拌好的研磨液泵送至抛光设备。首次使用抛光垫前，先空载运行载具，用研磨液对抛光垫进行预调整（预条件化）。如需更高的材料去除速率，建议采用3–5 psi 的研磨压力。 |
注意事项
| 事项说明 |
|---|
| 本产品在极端高温或低温长时间储存后，可能会产生分层，搅拌均匀后不影响使用效果。 |
贮存和运输
| 项目 | 说明 |
|---|---|
| 储存条件 | 密封储存于阴凉干燥处 |
| 保质期 | 自生产日起一年 |
产品规格
| 包装说明 |
|---|
| 25 kg、1000 kg或客户订制包装。 |