一种用于碳化硅晶圆切割的金刚线切割冷却液
发明专利
专利名称
一种用于碳化硅晶圆切割的金刚线切割冷却液
申请号
CN202610057282.1
公布/公告号
CN121914795A
公布/公告日期
2026-04-24
申请人
香柘科技(湖北)有限公司
专利类型
发明专利
法律状态
2026-05-12实质审查的生效;2026-04-24发明专利申请公布
摘要
申请号：CN202610057282.1申请日期：2026-01-16公布/公告号：CN121914795A公布/公告日期：2026-04-24发明人：请求不公布姓名申请(专利权)人：香柘科技(湖北)...
摘要附图
